Ảnh hưởng của các yếu tố công nghệ đến quá trình tổng hợp AlN bằng phản ứng khí/lỏng in-situ

Ảnh hưởng của các yếu tố công nghệ đến quá trình tổng hợp AlN bằng phản ứng khí/lỏng in-situ

Đã tổng hợp AlN trên cơ sở phản ứng giữa khí Ni tơ và nhôm  lỏng in-situ. Các yếu tố công  nghệ quan  trọng nhất là lưu lượng khí thổi, nhiệt độ và thời gian thổi đã được khảo  sát…